氙气40L
产品特点:
稀有气体之所以被称为“稀有气体”,是因为它们在空气中的含量非常少。氙气十分稀少,地球大气中的百万分之一公斤中只有 90 克重。 商业上只能通过大型空气分离装置提取,每天需要生产超过1000 吨以上的氧气。
应用范围:
● 半导体和存储芯片制造用氙气 氙气在半导体制造工艺中用于微芯片的刻蚀和沉积,既可用作气氛和等离子体,又可用作刻蚀和沉积工艺的离子束源。 此工艺中使用的氙气必须非常纯净,因为任何杂质最终都会污染硅衬底或与工艺化学品(如氟)发生反应,从而产生有毒的高腐蚀性氟化氢(HF)。
021-67231938
产品详情
稀有气体,也称为惰性气体,是人类已知的最惰性,不易反应的元素。 它们在空气中的含量极低,由空气分离装置(ASU)制造。由于其独特的化学性质,专家们发现它们具有十分新颖且有趣的应用。
大多数稀有气体非常稳定,因此其电离能非常高。 这使其非常适合用作清洁,切割或焊接材料的离子束源。 它们的另一个特性是能够产生明亮的光,可以是激光(氖气/氦气激光)或光源(氙气)。 最后,它们是非常重且致密的气体,因此可用于推进发动机或窗户隔热。